- SRG:Segment功能非常适合用于建立光栅结构的几何外形,并可通过Symbol建立设计参数间的联动关系。
- VHG:User Profile功能能以数学公式描述空间中折射率的变化,高自由度的分布变化可用来建立模型。
- PVG:Crystal功能可以方便地定义晶轴在空间中的方向,也可以使用Anisotropic user profile直接定义空间中折射率的变化。
- RSoft DiffractMOD RCWA为周期结构计算的专用算法,对于大部份的周期性结构计算具有很高的效率,能够快速计算出光栅各个穿透/反射衍射阶的效率、角度与偏振状态。
- RSoft FullWAVE FDTD同样提供周期性边界条件,也可以用于周期性光栅的计算,可称为最严谨的波动光学分析工具,支持非线性网格(Nonuniform mesh)与集群计算(Clustering)能够减少计算所需的时间。
- 上述两种算法可在RSoft中自由切换,无需重复建模即可挑选最适合的计算方式。