微光学产品主要是通过胶合、光胶的方法将各部件组成棱镜组合件，达到改变光路起到分光、合光等作用。
主要材料：Si、K9棱镜、波片、ZF1、ZF6、SF11、石英玻璃入射介质：对空气、对胶
入射角度：一般为O°。但有部分为其他角度，如13°、27°、45°等物料形态：平片、BS条、叠层块上夹方式：对角贴高温胶的方式—-波片
贴PET膜的方式——BS条，薄的双拋叠层块（厚度<3mm）贴双面胶的方式——厚叠层块、底部带倒角的叠层块
偏振片
法拉第片ROTATOR
3.2 镀膜生产流程介绍二、
AR膜生产流程
•FR和PL生产流程
来料 — SPC–擦拭A面 — 上夹检查–镀膜A面–测试–下夹–B面擦拭上夾–镀膜B面–测试–擦拭.SPC–入库
光纤类镀膜流程
来料– SPC–上夹–擦拭–镀膜–测试–下夹–绕光纤环– SPC–入库
=, CWDM . DWDM Filter.
Step1: Uniformity Modification
膜片加工过程物料状态
大盘（镀膜）
大盘类玻璃材料是WMS-15，大盘玻璃在使用前需要在背面进行磨砂，以减少背面干涉对信号的影响，并且对磨砂的粗糙度以及均匀性都有一定要求。
厚梯形块（切割）
镀出来的大盘测试合格以后，由CTC确定大盘切割区域，即可转到切割工序对大盘进行切块，先将大盘每隔15度切成二十四个扇形块，再根据切割区域将扇形块切成24块或者48块梯形块。
薄梯形块（减薄抛光）
由于最终产品的厚度只有0.85~1.4mm，而大盘厚度一般为7~10mm，所以要将梯形块減薄拋光至规定厚度。并且为了防止干涉对膜片的影响，大部分梯形片会有一个楔角角度要求，一般楔角角度为20分/40分。
膜片（划片）
确定好合格区域的薄梯形块就可以转到切片工序进行切粒，把合格的部分切成不同尺寸的小粒，根据产品难度和合格区域竞窄，每个薄梯形块能够切出来的小粒的粒数也不同。少则十几粒，多则几百粒。
膜片分类
Dimension
•1.4X1.4（最常用，大部分器件封装使用的膜片为此尺寸）
•1.5X1.5（器件封装中全部GFF类产品及部分WDM）
•1.6X1.6（DWDM XSKIPO及其它超厚膜系）
•1.2X1.2（难度较低的WDM产品）
•0.8×0.8（MINI TAP类）
• 0.85×0.85; 0.75×0.75#(Glass Block CWDM)
• 0.95×0.75 ; 1×0.95 (Lan WDM )
Wedge Angle
20分（最常用，大部分膜片为此尺寸）
•40分（全部GFF类产品）
•0度（全部Glass Block类产品）
•8度（有8度角要求的TAP膜片）
BS Filter
PBS-棱镜式
目前我们主要镀膜棱镜式PBS、之前镀过光胶PBS和有胶胶合PBS，具体结果如下图所示：
BS Filter
NPBS-棱镜式（石英基材）— Interleaver BS Cube
入射介质为熔石英玻璃
1. Interleaver BS Cube指标要求：
1）入射角、45deg,1520nm~1570nm，
2）透射率：透射光能量与入射光能量之比；
3）反射率：反射光能量与入射光能量之比；
4）分光比：透射率与反射率的比值；
5）偏振分离（PDL）：透射光、反射光中P偏振光与S偏振光能量差
6） WDL：目前没有需要，但希望曲线越平越好，
5、镀膜：
1） 5层对称膜系，指标尽量镀好，实验调好后，产品镀膜稳定后，每炉根据指标微调速率。
2） Interleaver BS Cube镀膜后都是要求光胶的，镀膜要保持腔体干净，注意物料光洁度。
小片类BS类产品关键工艺流程
