大多数非球面是基于一个“二次”或者“锥面”项,基本的方程如下:
标准的基本形式为:
球面 : (k=0)
抛物面: (k=-1)
双曲面: (k<-1)
椭圆 : (-1<k<0)
之所以称为“锥面”项,是由于我们可以用不同方位的面与圆锥相切可以得到以上表面
可能上面的公式有点抽象,我用一个截面图来表示各种面型:
3、双曲面(K<-1):
4、椭圆(-1<K<0)
5、非球面的定义
基本项(二次项)+多项式
+
(球面, 椭圆, 双曲面, 抛物面) (与基本项的偏离)
其中 c= 曲率=1/r r=基圆半径
以上就是常见的几种非球面的表达式,那么为何非球面检测如此重要呢,我看下面的图:
①对于非球面,误差平行于非球面轴
②对于球面,误差沿最佳拟合圆的法向
二、面型拟合
面型拟合是光学测量中常用的技术,用于将离散的波面数据拟合成连续的理想波面分布函数。我们一般来说是根据测试设备采集的点云数据,带入到设计软件中选择合适的非球面表达式来拟合对应的非球面面型。
当然这里还有一些概念需要介绍,在拟合过程中经常用到的一些指标:
PV和RMS
1、PV
PV是英文单词Peak-to-Veally(从峰到谷)的缩写,表示元件面形误差矩阵 W(x,y)中元素的最大值(面形最高点)与最小值(面形最低点)之差,即:
其中,Wmax和Wmin 分别代表面形矩阵W(x,y) 中元素的最大值与最小值,x和 y分别为面形矩阵的行和列有效元素的序号。
RMS是衡量表面形貌偏离理想平面或曲面的程度的一种统计方法。它通过对表面上所有点的偏差进行平方、平均后再开方得到。
在以上式子中,W(x,y)是面形矩阵,x 和 y分别为面形矩阵的行和列有效元素的序号,
为面形矩阵中所有有效元素的平均值, N为面形矩阵中的有效元素个数。注意,某些方差的归一化因子也会使用N ,而不是 N-1
三、面型拟合实例:
1、曲面拟合
下面我将给出一些三维坐标阵列(x,y,z),根据这些坐标点云,拟合出一个曲面模型,这里先不介绍方程,我们先看一下拟合步骤以及拟合工具有哪些: