核心概念:光圈 (N) 与局部光圈 (ΔN)
首先,我们先来介绍一下光圈 (N) 与局部光圈 (ΔN)的含义。
它们描述的是光学表面与参考表面(通常为理想设计球面)的偏差,通常通过光学干涉仪进行测量。
1、光圈 (N) —— 表征整体曲率偏差
定义:光圈数 N 表示被检光学表面与参考球面在直径方向上产生的最大干涉条纹数(俗称“光圈数”)。
物理意义:它反映的是被测面与参考面之间的曲率半径偏差。
N = 0:完美匹配,曲率半径完全相同。
N > 0, 或称为 “高光圈”,当轻压被测件中心时,干涉条纹从中心向边缘移动。想象一下,将一个“更弯”的凸面放在一个“较平”的参考球面上,中心先接触,边缘悬空,中心空气隙更厚。
对应的曲率关系:被测表面的曲率半径小于参考球面的曲率半径(即被测面“更弯”),或者等效地说,被测表面的曲率大于参考球面的曲率。
N < 0, 或称为 “低光圈”,当轻压被测件中心时,干涉条纹从边缘向中心移动。想象一下,将一个“更平”的凸面放在一个“较弯”的参考球面上,边缘先接触,中心悬空。
对应的曲率关系:被测表面的曲率半径大于参考球面的曲率半径(即被测面“更平”),或者等效地说,被测表面的曲率小于参考球面的曲率。
一个关键原则是:N 描述的是整个通光口径内的系统性偏差,可以简单理解为“球面度”不对。
计算公式:在单色光(如氦氖激光 λ=632.8nm)照射下, N = ΔR / (λ/2),其中 ΔR 是中心到边缘的最大矢高差。更直观地,N = (Δh) / (λ/2),Δh 为被测面与参考面在直径方向的最大空气隙厚度差。
图纸标注示例:N = 5 或 N = 0.5。数值越小,要求曲率匹配越精确。
2. 局部光圈 (ΔN)——表征面型不规则度
定义:局部光圈 ΔN 表示在被检光学表面任意一个局部范围,通常规定为直径约1/3口径或30%口径的区域内,干涉条纹的不规则程度。它等于该局部区域内最大与最小条纹数(或矢高偏差)之差。
物理意义:它反映的是被测面偏离理想球面的不规则程度,即面型的“光滑度”或“局部缺陷”。这是控制像散、彗差等像差、特别是散射和热点问题的关键。
ΔN = 0:表面是完美的球面(或平面)。
ΔN > 0:表面存在局部隆起(“丘”)、凹陷(“坑”)、边缘翘曲(“塌边”或“翘边”)或像鸡蛋状的椭圆形(像散)等不规则形状。
计算公式:ΔN = |N_max - N_min|(在任一局部区域内)。
图纸标注示例:ΔN = 0.5 或 ΔN = 0.1。数值越小,要求面型越光滑、越规则。
对应的主要标准
光学加工领域有成熟的国家和国际标准,规定了 N 和 ΔN 的检测方法、公差定义和表示符号。
1. 中国国家标准 (GB/T)
核心标准:GB/T 2831-2009 《光学零件的面形偏差 检验方法(光圈识别)》。
这是国内最权威、最常用的标准。它详细定义了:
光圈数 N:标准光圈、低光圈、高光圈;
局部误差:像散偏差(Δ₁N)、局部偏差(Δ₂N)——这两者共同构成了局部光圈 ΔN 的评定基础。
在国标的图纸上通常直接标注为 N 和 ΔN。
2. 国际标准 (ISO)
核心标准:ISO 10110-5 《光学和光子学 图纸准备 第5部分:表面形状公差》。
这是国际通行的标准,在出口图纸和国际化项目中广泛应用。
国际标准的图纸上,表示方法不同:它以分数形式标注,例如 2/ (0.1)。
2:表示最大允许的峰-谷 (PV) 像差,单位为干涉条纹(fringes)。1个条纹对应 λ/2 的光程差。2 就代表 PV 值不超过 1λ (对于 λ=632.8nm,即 ~0.95μm)。这个值大致对应或严于光圈数 N 的要求。
0.1:表示最大允许的均方根 (RMS) 像差,单位为干涉条纹。0.1 代表 RMS 值不超过 0.05λ (~31.6nm)。这个值比 ΔN 更严格、更科学,因为它统计了整个口径内的不规则度,而 ΔN 只关注最差局部区域。ΔN 可以近似看作对 RMS 值的一个保守控制。
关系:ISO 的 PV 要求 ≈ 国标控制整体弯曲 (类似N);ISO 的RMS 要求 ≈ 国标控制局部不规则度 (类似但严于ΔN)。
工程应用要点与选择
1. 光圈 (N) 与局部光圈 (ΔN)的管控标准
对于不同的应用场景,透镜的精度要求不同,光圈 (N) 与局部光圈 (ΔN)的管控标准也不一样。
普通成像镜头:N 通常控制在 1-5 个光圈,ΔN 控制在 0.1-0.5。
高精度平面、球面(如激光系统、干涉仪标准镜):N 要求 <0.5 甚至 <0.1,ΔN 要求 <0.05 或更高。
非球面/自由曲面:通常不直接用 N/ΔN 评价,而用 PV 和 RMS,或相对于设计面的偏差等高线图。
2. 检测解读
看干涉图时,先看整体条纹弯曲度(估算N),再看条纹的局部弯曲、扭曲或断裂(判断ΔN)。
“牛顿环”是经典的检测方法,但现代生产主要使用数字相位干涉仪,可直接给出 PV、RMS 和面形图。
3. 对系统性能的影响
N 偏差过大:主要引入离焦,但可以通过系统调焦部分补偿。在定焦系统或涉及多重成像的系统中影响较大。
ΔN 偏差过大:直接导致波前误差,降低系统的分辨率和对比度(MTF),增加散射光,形成鬼像或热点。对于衍射极限系统(如光刻物镜、天文望远镜),ΔN(或RMS)是生死线。
4. 标准选择建议
国内项目:使用 GB/T 2831,标注 N 和 ΔN。
国际项目或高水平研发:推荐使用 ISO 10110-5 的 PV / RMS 标注法,信息更精确,与国际接轨。
另外,在图纸上,除了标注公差值,务必注明检测波长(如λ=632.8nm)。
为了更直观的理解对比光圈 (N) 与局部光圈 (ΔN),整理如下表格给小伙伴们参考: