表面缺陷标准：依据美国军用标准MIL-PRF-13830B用两组数字表示表面缺陷大小。例如40/20前者限制划痕大小，后者限制麻点大小。道子、亮路都统称为划痕。斑点、坑点、点子 都称为麻点。规定长与宽的比大于4:1的为划痕；长与宽的比小于4:1的为麻点。
当元件的不同区域表面光洁度要求不一样时，等效直径的计算以区域进行：表面质量要求高的内区域其等效直径以内区域为准（如有效孔径的区域），表面质量要求低的外区域计算的是整体元件的等效直径。
以美国军用标准《MIL-O-13830》的表面质量划痕样板作为各级数划痕的比对标准。（注意：美军标未指明划痕的计量单位也即未确定划痕的宽度和深度，只能以实际观察样版为标准。）
这里的划痕级数就是通常的划痕号数，标准样版有10#、20#、40#、60#、80# 5个级。
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SC-QA027表面质量标准共有7条划痕判定标准，前5条是美军标的规定，后两条是公司内控标准。以下逐条讲解：
1、当元件的划痕级数超过表面质量要求的划痕级数时，元件不合格。
例如：元件的表面质量要求为60/40，则代表元件的划痕必须≤60#，如果元件有＞60#的划痕，则元件不合格。
2、当元件的划痕级数未超过表面质量要求的级数，但元件存在最大划痕时，所有最大划痕的长度之和应不超过元件直径的1/4。
3、当元件存在最大划痕，而最大划痕的长度之和未超过1/4D，要求所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和，不得超过最大划痕级数的一半。
4、当元件的划痕级数未超过表面质量要求的级数，且元件不存在最大划痕时，所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和，不得超过最大划痕级数。
5、当元件质量指标要求划痕等级为20或优于此等级时，元件表面不准有密集划痕即在元件中任何一个∅6.35mm面积的区域，不允许有4条或4条以上的大于等于10#划痕。
6、对于圆形元件不允许有20# 级数以上与直径相等的划痕。对于方形元件不允许有20#级数以上贯穿元件的划痕。
7、当两条或多条划痕之间间隔小于0.1mm时，划痕合并为1条计算，合并后的划痕长度从划痕开始到划痕结束，宽度取划痕的外边。
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